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表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量

Surface chemical analysis - Depth profiling - Measurment of sputtered depth

国家标准 推荐性 现行

国家标准《表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量》由TC38(全国微束分析标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中山大学 、浙江大学 、中国科学院大连化学物理研究所 。

主要起草人 陈建 、张训生 、谢方艳 、龚力 、张卫红 、盛世善 。

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